Ellissometro spettroscopico VUV-VASE

da Woollam Co.

Il VUV-VASE è l'ellissometro spettroscopico di riferimento per la caratterizzazione ottica di materiali utilizzati in particolare in applicazioni di litografia e industria dei semiconduttori. Il suo range spettrale copre dal VUV (146 nm) fino al NIR (1700 nm). Ciò garantisce un'incredibile versatilità nella caratterizzazione di un'ampia gamma di materiali: semiconduttori, dielettrici, polimeri, resist, etc...

Features
Ellissometria nel VUV
Range spettrale 146-1700 nm
Campione in atmosfera controllata
Sistema completamente automatizzato

Ampio range spettrale

Disponibile nella versione 146-1700 nm con l'opzione NIR

Elevata accuratezza

Grazie all'impiego dell'AutoRetarder (brevettato) è possibile ottenere misure precise ed accurate di Delta sull'intero range 0-360°, garantendo dunque il massimo dell'accuratezza per qualasiasi tipo di campione.

Semplicità nelle operazioni di carico dei campioni

Il VUV-VASE utilizza una camera di load-lock per l'introduzione dei campioni permettendo di mantenere la camera di misura sempre in condizioni di controllo atmosferico.

Campioni fotosensibili

Nel VUV-VASE il monocromatore è posto a monte, ovvero prima del campione, in modo da minimizzare intensità ed energia che colpiscono il campione stesso, così da garantire protezione per i materiali fotosensibili.

  • range spettrale: 146-1700 nm (standard)
  • estensione NIR: fino a 2500 nm
  • goniometro a geometria verticale
  • completamente motorizzato con range di angoli di incidenza 25°-90°
  • misure di ellissometria, riflettanza e trasmittanza
  • camera di carico per campioni di grandi
  • dimensioni: wafer da 300 mm,  photo-mask da 6"
  • mapping stage motorizzato XY
Photoresist

Misura di spessori e indici di rifrazione (n e k) di film a 157 nm, 193 nm, 248 nm.

Transizioni elettroniche

La determinazione di bandgap, transizioni elettroniche e punti critici di materiali semiconduttori nel range VUV è ora possibile grazie ad un unico strumento stand-alone, senza necessità di impiego di luce di sincrotrone

Anisotropia

Modalità di misura avanzate (quali ellissometria generalizzata) forniscono ulteriori informazioni per una corretta e completa caratterizzazione di materiali anisotropi sia uniassiali che biassiali. Il VUV-VASE può eseguire misure di ellissometria spettroscopica sia in riflessione che in trasmissione, consentendo un'accurata determinazione dell'anisotropia ottica anche nei casi più complessi.

Coating anti-riflesso
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