Ellissometro Spettroscopico veloce M-2000

Woollam Co.

L'ellissometro spettroscopico M-2000 combina l'elevata accuratezza della tecnologia a compensatore rotante (RCE) con un'acquisizione spettroscopica multicanale (CCD). Ciò permette un'impareggiabile velocità di misura: fino a 700 lunghezze d'onda in meno di 1 secondo! M-2000™ è disponibile sia in configurazione ex-situ che in-situ per il monitoraggio ral-time di processi di deposizione e crescita.

Features
Ex-situ, in-situ e in-line
Tecnologia a compensatore rotante (RCE)
Sistema modulare con ampia varietà di opzioni e configurazioni
Range spettrale: fino a 193-1690 nm
Completamente automatico

L'M-2000 impiega una tecnologia brevettata a compensatore rotante (RCE) che garantisce elevata accuratezza e precisione. La tecnologia RCE è compatibile con un'acquisizione multicanale tramite CCD permettendo così la misura simultanea dell'intero spettro: fino a più di 700 lunghezze d'onda acquisite contemporaneamente, dall'ultravioletto fino al vicino infrarosso. Grazie al suo design estremamente modulare, l'M-2000 può essere istallato direttamente su una camera di deposizione per misure in-situ, o integrato in uno dei numerosi stage e goniometri ex-situ disponibili. M-2000 garantisce misure ellissometriche accurate per qualsiasi tipologia di campione, ed include misure avanzate quali Ellissometria Generallizzata, Matrici di Mueller e misura della depolarizzazione.                  

Range spettrali disponibili:

  • M-2000V: 370-1000 nm (390 lunghezze d'onda)
  • M-2000U/X: 245-1000 nm (470 lunghezze d'onda)
  • M-2000D: 193-1000 nm (500 lunghezze d'onda)
  • M-2000XF: 245-1000 nm (470 lunghezze d'onda) *)
  • M-2000XF-193: 245-1000 nm (500 lunghezze d'onda) *)

Estensione NIR: 1010-1690 nm (200 lunghezze d'onda)
(* per applicazioni micro-spot; dimensione dello spot variabile: 25 µm x 60 µm; 50 µm x 120µm; 75 µm x 180 µm; 125 µm x 300 µm; 175 µm x 420 µm)

Opzioni disponibili

  • Estensione NIR
  • Un array di diodi NIR esetnde il range spettrale di tutti i modelli "V", "U/X" e "D" fino a 1690 nm con l'aggiunta di ulteriori 200 lunghezze d'onda

Stage e goniometri ex-situ disponibili:

  • Stage ad angolo di incidenza fisso (65°), geometria a campione orizzontale
  • Goniometro motorizzato e controllato via computer, geometria a campione orizzontale, range di angoli di incidenza: 45°-90°
    Goniometro motorizzato e controllato via computer, geometria a campione verticale, range di angoli di incidenza: 20°-90°

Configurazione in-Situ
Include set di finestre UHV per l'integrazione su camere UHV, unità di tilting per l'allineamento di sorgente e rivelatore, e staffe per il montaggio degli elementi sulle flange

Mapping stage motorizzati per goniometri/stage a geometria orizzontale:

  • 100 mm x 100 mm XY
  • 200mm x 200 mm XY 
  • 300mm x 300 mm XY

Mapping stage motorizzati per goniometri/stage a geometria verticale:

  •  50 mm x 50 mm XY
  • 150mm x 150 mm XY 

Focusing probes:

  • Sistema di focalizzazione dello spot di misura tramite lenti rimuovibili
  • Dimensione minima dello spot fra 120 e 300 µm (a seconda del modello)

**per spot di dimensioni più piccole (a partire da 25 µm) è disponibile il modello M-2000F (ad angolo di incidenza fisso)

costanti ottiche e spessori, anisotropia, gradienti di costanti ottiche, composizione

L'M-2000 è un ellissometro estremamente accurato per la determinazione di costanti ottiche, spessori, anisotropie ottiche, gradienti di costanti ottiche, composizione, grado di cristallinità, etc...

misure di omogeneità

In combinazione con mapping stage motorizzati è possibile determinare l'omogeneità dei campioni in termini di spessore, costanti ottiche, etc...

misure dinamiche cinetiche di adsorbimento/desorbimento

Misure dinamiche in-situ sono possibili sia su camere di deposizione/crescita UHV, sia in combinazione con celle per misure in liquido o in funzione della temperatura. Ciò permette l'esecuzione di misure real-time di processi di adsorbimento/desorbimento di molecole in ambiente liquido, o misure in funzione della temperatura nell'ambito di processi quali transizioni di fase, o determinazione della temperatura di transizione vetrosa per polimeri e materiali sol-gel.

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