Ellissometro spettroscopico VASE

da Woollam Co.

Il VASE è in assoluto l'ellissometro da ricerca più accurato e versatile, perfetto per qualsiasi tipo di materiale: semiconduttori, dielettrici, polimeri, metalli, multi-layer, etc...   
All'eccellente accuratezza e precisione abbina una ampio range spettrale dall'UV al MIR (193-3200 nm). La possibilità di controllare con continuità la lunghezza d'onda e l'angolo di incidenza su un range molto ampio garantisce una eccezionale flessibilità di misura:

  • Ellissometria in riflessione e trasmissione
  • Ellissometria Generalizzata
  • Misure di intensità di luce riflessa (R)
  • Misure di intensità di luce trasmessa (T)
  • Misure di cross-polarization R/T
  • Depolarizzazione
  • Scatterometria
  • Mueller matrix
Features
Ex-situ
Ampio range spettrale
Massima accuratezza
Elevata risoluzione spettrale ed eccezionale flessibilità

Massima accuratezza
Il VASE impiega una tecnologia ad analizzatore rotatnte (RAE) in combinazione con AutoRetardr brevettato che garantisce una accuratezza dei dati senza rivali .  

Elevata precisione ed accuratezza spettrale
Il VASE è dotato di monocromatore a scansione HS-190™ specificatamente sviluppato per applicazioni di ellissometria spettroscopica. Il sistema è in grado di selezionare automaticamente lunghezza d'onda e risoluzione spettrale,  allo stesso tempo ottimizzando velocità di acquisizione, accuratezza ed intensità del segnale.

Flessibilità di misura
Il VASE utilizza un goniometro completamente motorizzato in geometria verticale che garantisce il massimo della flessibilità permettendo l'esecuzione di esperimenti in diverse configurazioni geometriche, come misure in riflessione, trasmissione e scatterrometria sullo stesso punto del campione.

 

 

  • campione in geometria verticale
  • goniometro motorizzato con range di angoli di incidenza 20° ÷ 90°
  • monocromatore a doppia o singola camera
  • range spettrale 250 - 1700 nm (standard)
  • estensione DUV da 193 nm
  • estensione NIR fino a 2500 nm e MIR fino a 3200 nm
  • mapping stage motorizzato XY da 50 mm e 150 mm
  • stage motorizzato per la rotazione del campione
  • focusing probes rimuovibili per riduzione dello spot di misura (standard 200 µm)
  • videocamera
  • criostato (4.2 ÷ 500 K o 4.2 ÷ 800 K)
  • celle per misure in temperatura (RT ÷ 300 °C o -80 ÷ 600 °C)
Semiconduttori

Determinazione di bandgap, transizioni elettroniche e punti critici di materiali semiconduttori quali ad esempio GaN, InP, SiGe, CdTe, etc... L'elevata e controllabile risoluzione spettrale, insieme alla possibilit

Film spessi

Per film spessi (>5 μm) è necessario disporre di una elevata risoluzione spettrale per risolvere correttamente le oscillazioni nelle strutture di interferenza dei dati di Ψ e Δ. A tale scopo, la possibilità di definire da parte dell'operatore sia lo step in lunghezza d'onda che la bandiwdth, risultano essere due caratteristiche imprescindibili che il VASE mette a disposizione.

Materiali fotosensibili

Il monocromatore è posizionato a monte nella catena ottica del sistema, ovvero prima del campione. Ciò permette all'operatore di controllare sia l'intensità che l'energia (lunghezza d'onda) che colpisce il campione, consentendo di preservare campioni fotosensibili.

Film anisotropi e metamateriali
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