Ellissometro Spettroscopico T-Solar per celle solari al Silicio

da Woollam Co.

T-Solar è una versione speciale dell'M-2000 ottimizzata per rispondere alle particolari necessità di misura su superfici texturizzate di Silicio.

Features
Spessore dello strato di SiN di wafer di Si texturizzati
Tecnologia a compensatore rotante (RCE)
Intensit

L'ellissometro T-Solar è uno strumento sviluppato specificatamente per la misura di campioni texturizzati nell'industria fotovoltaica. Basandosi sulla consolidata tecnologia a compensatore rotante dell'M-2000, il T-Solar misura centinaia di lunghezze d'onda contemporaneamente nel range UV-VIS-NIR. Per garantire accuratezza e prestazioni nella misura di superfici altamente rugose tipiche del Silicio texturizzato, che riducono significativamente la riflettività del campione, T-Solar impiega una sorgente ad alta intensità in combinazione con un sistema brevettato di ottimizzazione automatica dell'intensità della lampada (Intensity Optimizer). Il sistema, inoltre, è dotato di un particolare e brevettato stage porta-campione in grado di ruotare e tiltare il campione per consentire l'allineamento delle facce delle piramidi presenti sulla superficie texturizzata del Silicio monocristallino, ed aumentare così la riflettvità della superfice durante la misura.

  • Range spettrale:
    245-1000 nm (470 lunghezze d'onda)
  • Ruota porta-filtri automatizzata per l'ottimizzazione dell'intensità su qualsiasi campione
  • Stage porta-campione tiltabile (0-60°) e ruotabile (0-360°) per la misura ottimizzata della superficie texturizzata del Silicio monocristallino
  • Focusing probes rimuovibili
  • Goniometro motorizzato a geometria orizzontale con range di angoli di incidenza 45°-90°
Substrati texturizzati

Il T-Solar è stato sviluppato specificatamente per la misura dei coating AR su substrati texturizzati. Sia il texturing che il coating AR tendondo a ridurre drasticamente la riflettività della superficie, rendendo qualsiasi caratterizzazione ottica molto difficile.

Il texturing prodotto da un bagno alcalino sulla superficie del silicio monocristallino è caratterizzato da un pattern regolare con strutture piramidali le cui facce seguono specifiche direzioni cristalline del silicio. Per misurare una siffatta superficie è necessario impiegare una particolare geometria di misura che il T-Solar garantisce grazie al suo stage porta-campione brevettato, in grado di orientare (tramite movimenti di rotazione e tilt) la superficie del campione al fine di allineare il fascio di misura con le facce delle piramidi.

Celle solari al Silicio
Silicio monocristallino
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