Ellissometro FTIR IR-VASE

IR-VASE Woollam Co.

L'IR-VASE è il primo ed unico ellissometro spettroscopico a coprire il range spettrale tra 1.7 e 30 microns (333-5900 numeri d'onda). L'IR-VASE è in grado di determinare sia la parte reale (n) che la parte immaginaria (k) dell'indice di rifrazione del materiale sull'intero range, senza necessità di estrapolazioni matematiche al di fuori del range di misura, come avviene nel caso di analisi tipo Kramers-Kronig. Così come gli altri ellissometri della famiglia Woollam, IR-VASE è perfetto per la caratterizzazione di film sottili e materiali bulk, quali dielettrici, semiconduttori, polimeri e metalli.

Features
Tecnologia a compensatore rotante (RCE)
Il più ampio range spettrale disponibile in commercio
Geometria a campione verticale
Misure di Ellissometria e Trasmittanza

Caratterizzazione non-distruttiva

IR-VASE è in grado di eseguire misure a non contatto di diverse proprietà dei materiali, quali ad esempio spessori, costanti ottiche, composizione, legami chimici e molecolari, drogaggio, etc... Le misure non necessitano di condizioni di vuoto e possono essere utilizzate in applicazioni di chimica o biologia come ad esempio lo studio di interfacce solido/liquido.

Misure di baseline o campioni di riferimento non necessari

L'Ellissometria è una tecnica a modulazione di polarizzazione che non richiede scansioni o campioni di riferimento. Persino campioni più piccoli delle dimensioni del fascio di misura possono essere misurati correttamente.

Misure altamente accurate

Procedure di acquisizione e calibrazioni brevettate permettono l'eliminazione di errori sistematici legati alle imperfezioni degli elementi ottici, garantendo sempre la massima accuratezza nella misura di Ψ e Δ.

  • range spettrale: da 1.7µm a 30µm
  • oniometro a geometria verticale
  • goniometro motorizzato: range di angoli di incidenza da 32° a 90°
  • Misure di Ellissometria, Trasmittanza e Riflettanza, Mueller Matrix, Ellissometria Generalizzata, Depolarizzazione

Strati epitassiali, concentrazione e profilo del livello di drogaggio

Alle lunghezze d'onda nell'infrarosso, la differenza dei livelli dei portatori di carica può causare contrasto ottico fra strati epitassiali e impiantati. Ciò conferisce all'IR-VASE una estrema sensibilità riguardo lo spessore di strati epitassiali e il livello di drogaggio del substrato. L'Ellissometria inoltre è estremamente sensibile al gradiente di portatori di carica alle interfacce: misure ellissometriche non-distruttive del profilo dei portatori eseguite con l'IR-VASE hanno dimostrato essere in perfetto accordo con tecniche di analisi più classiche, ma distruttive, quali ad esempio misure SIMS.

Fononi e vibrazioni reticolari

L'ampio range spettrale dell'IR-VASE risulta particolarmente importante nello studio di assorbimento di fononi. Il grafico sulla sinistra mostra i modi fononici di un cristallo GaN/AlGaN modellizzato in modo da determinare la concentrazione del drogaggio e la qualità del film.

Vibrazioni molecolari

Esattamente come la spettroscopia FTIR, l'ellissometria IR si fonda sulle informazioni provenienti dalle vibrazione dei legami molecolari. Assorbimenti causati dall'accoppiamento con questi stati vibrazionali molecolari possono essere studiati tramite ellissometria IR, offrendo un livello di sensibilità e accuratezza superiore alla spettroscopia FTIR classica, in particolare se applicata a film sottili e strati superficiali. L'ellissometria IR inoltre è in grado di fornire contemporaneamente sia la parte reale (n) che quella immaginaria (k) dell'indice di rifrazione, anzichè il solo valore di assorbanza fornito dalla spettroscopia FTIR.

Coating ottici
Caratterizzazione di multilayer

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