Ellissometri Spettroscopici

L’ellissometria, sia essa a singola lunghezza d’onda o spettroscopica, è una tecnica utilizzata per determinare lo spessore e le costanti ottiche di film sottili e substrati. Ellissometri a singola lunghezza d’onda ed ellissometri spettroscopici misurano la variazione dello stato di polarizzazione della luce in seguito a riflessione (o trasmissione, nel caso di campioni anisotropi).

LOT-QuantumDesign offre una vasta gamma di ellissometri spettroscopici ottimizzati in funzione delle specifiche necessità ed applicazioni. Il VASE, un ellissometro flessibile basato su un monocromatore a scansione, ideale per qualsiasi tipo di applicazione R&D, copre il più ampio range spettrale disponibile sul mercato: da 140nm fino a 3200nm e, in combinazione con l’IR-VASE, fino a 30 µm. In alternativa sono disponibili i sistemi della famiglia M-2000 e RC2 che, grazie alla tecnologia a compensatore rotante in combinazione con l’acquisizione CCD, garantisco un’estrema velocità di misura rappresentando la soluzione ideale per applicazioni sia ex-situ che in-situ.

What is Ellipsometry?

This brief introduction to ellipsometry is targeted to the novice and provides a fundamental description of ellipsometry measurements and typical data analysis procedures. The primary applications of ellipsometry are also covered.

More

L'ellissometro spettroscopico M-2000 combina l'elevata accuratezza della tecnologia a compensatore rotante (RCE) con un'acquisizione spettroscopica multicanale (CCD). Ciò permette un'impareggiabile velocità di misura: fino a 700 lunghezze d'onda in meno di 1 secondo! M-2000™ è disponibile sia in configurazione ex-situ che in-situ per il monitoraggio ral-time di processi di deposizione e crescita.

More

L'RC2 è il primo ellissometro spettroscopico a doppio compensatore rotante. Alle migliori caratteristiche dei sistemi di generazione precedente abbina una tecnologia completamente nuova: doppio compensatore rotante acromatico, sorgenti e spettrometri di ultimissima generazione. L'RC2 è la soluzione praticamente universale per qualsiasi applicazione di ellissometria spettroscopica e Mueller Matrix

More

Alpha-SE è un ellissometro spettroscopico low-cost, veloce e robusto per la misura di spessori e costanti ottiche di film sottili. Le dimensioni estremamente compatte lo rendono ideale come strumenti da banco. È collegato al computer tramite singolo cavo su porta USB.

More

Il VASE è in assoluto l'ellissometro da ricerca più accurato e versatile, perfetto per qualsiasi tipo di materiale: semiconduttori, dielettrici, polimeri, metalli, multi-layer, etc...   
All'eccellente accuratezza e precisione abbina una ampio range spettrale dall'UV al MIR (193-3200 nm). La possibilità di controllare con continuità la lunghezza d'onda e l'angolo di incidenza su un range molto ampio garantisce una eccezionale flessibilità di misura:

  • Ellissometria in riflessione e trasmissione
  • Ellissometria Generalizzata
  • Misure di intensità di luce riflessa (R)
  • Misure di intensità di luce trasmessa (T)
  • Misure di cross-polarization R/T
  • Depolarizzazione
  • Scatterometria
  • Mueller matrix

More

Il VUV-VASE è l'ellissometro spettroscopico di riferimento per la caratterizzazione ottica di materiali utilizzati in particolare in applicazioni di litografia e industria dei semiconduttori. Il suo range spettrale copre dal VUV (146 nm) fino al NIR (1700 nm). Ciò garantisce un'incredibile versatilità nella caratterizzazione di un'ampia gamma di materiali: semiconduttori, dielettrici, polimeri, resist, etc...

More

L'IR-VASE è il primo ed unico ellissometro spettroscopico a coprire il range spettrale tra 1.7 e 30 microns (333-5900 numeri d'onda). L'IR-VASE è in grado di determinare sia la parte reale (n) che la parte immaginaria (k) dell'indice di rifrazione del materiale sull'intero range, senza necessità di estrapolazioni matematiche al di fuori del range di misura, come avviene nel caso di analisi tipo Kramers-Kronig. Così come gli altri ellissometri della famiglia Woollam, IR-VASE è perfetto per la caratterizzazione di film sottili e materiali bulk, quali dielettrici, semiconduttori, polimeri e metalli.

More

T-Solar è una versione speciale dell'M-2000 ottimizzata per rispondere alle particolari necessità di misura su superfici texturizzate di Silicio.

More

Follow us: twitter linkedin
European offices
© LOT Quantum Design 2016