Ellissometri Spettroscopici
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L'ellissometria, sia essa a singola lunghezza d'onda o spettroscopica, è una tecnica utilizzata per determinare lo spessore e le costanti ottiche di film sottili e substrati. Ellissometri a singola lunghezza d'onda ed ellissometri spettroscopici misurano la variazione dello stato di polarizzazione della luce in seguito a riflessione (o ...
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L'ellissometria, sia essa a singola lunghezza d'onda o spettroscopica, è una tecnica utilizzata per determinare lo spessore e le costanti ottiche di film sottili e substrati. Ellissometri a singola lunghezza d'onda ed ellissometri spettroscopici misurano la variazione dello stato di polarizzazione della luce in seguito a riflessione (o trasmissione, nel caso di campioni anisotropi).
Quantum Design offre una vasta gamma di ellissometri spettroscopici ottimizzati in funzione delle specifiche necessità ed applicazioni. Il VASE, un ellissometro flessibile basato su un monocromatore a scansione, ideale per qualsiasi tipo di applicazione R&D, copre il più ampio range spettrale disponibile sul mercato: da 140nm fino a 3200nm e, in combinazione con l'IR-VASE, fino a 30 µm. In alternativa sono disponibili i sistemi della famiglia M-2000 e RC2 che, grazie alla tecnologia a compensatore rotante in combinazione con l'acquisizione CCD, garantisco un'estrema velocità di misura rappresentando la soluzione ideale per applicazioni sia ex-situ che in-situ.
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