Sistema di litografia laser

MicroWriter di Durham Magneto Optics (DMO)

Il Microwriter ML3 è il nuovo sistema di litografia laser a scrittura diretta di DMO: flessibile e potente, offre tutto ciò che un ricercatore necessita per combinare alta risoluzione e velocità di  scrittura.

Il MicroWriter ML® Baby è il sistema di litografia ottica più piccolo ed economico sul mercato.

Features
Alta risoluzione
Alta velocità di scrittura
Facilità di utilizzo
Eccellente rapporto qualità/prezzo
Configurazione flessibile

Il MicroWriter ML3 funziona con un diodo laser a 385 nm che può essere utilizzato con resist g-, h- e i-line (positivi, negativi e SU-8). Il sistema fornisce quattro diverse risoluzioni che possono essere facilmente attivate via software (0,6 µm, 1 µm, 2 µm e 5 µm) senza intervento manuale. MicroWriter ML3 include un profilometro ottico e un sistema di ispezione del wafer.

Inoltre è possibile aggiungere un diodo laser a 405 nm o a 375 nm.

Microwriter SpecificationML3 BabyML3 Baby PlusML3 MesaML3
Maximum substrate size [mm]155 x 155 x 7155 x 155 x 7155 x 155 x 7230 x 230 x 15
Maximum writing area [mm]149 x 149149 x 149149 x 149195 x 195
Exposure resolutions [µm]11 and 50.6, 1, 2, 50.6, 1, 2, 5
Surface tracking autofocus systemYesYesYesYes
Greyscale lithographyYesYesYesYes
Alignment microscope objectivesx10x3 and x10x3, x10, x20x3, x5, x10, x20
Automatic lens changer for exposure resolution and alignment microscopeNoYesYesYes
Backside alignmentNoNoNoAvailable as option
Exposure wavelength [nm]405, 385 as option 405, 385 as option405, 385 as option385
Maximum writing speed20 mm2/minute at 1 µm 20 mm2/minute at 1 µm
120 mm2/minute at 5 µm
10 mm
2
/minute at 0.6 μm,
20 mm
2
/minute at 1 μm
120 mm
2
/minute at 5 μm
25 mm2/minute at 0,6 µm, 50 mm2/minute at 1 µm, 100 mm2/minute at 2 µm , 180 mm2/minute at 5 µm
Overlay alignment accuracy at best resolution [µm]±2 ±1±1±0,5
Minimum addressable grid [nm]200200100100
Motion stage minimum XY step size [nm]20202020
Optical surface profiler Z resolution [nm]not applicalble200200100
Automatic wafer inspection toolNoYesYesYes
Virtual mask aligner toolNoAvailable as optionAvailable as optionYes
Temperature stabilized enclosureNoNoNoYes
Supplied with vibration isolating optical tableNoNoNoYes
Mask design softwareOpen source KLayout supplied. Clewin available as optionOpen source KLayout supplied. Clewin available as optionOpen source KLayout supplied. Clewin available as optionClewin supplied
Can be upgraded?YesYesYesNo
Contatti elettrici

I sistemi della famiglia Microwriter permettono di creare facilmente e rapidamente modelli diversi di contatti elettrici.

Prototipazione rapida

I sistemi MicroWriter sono ideali per la prototipazione rapida grazie alla combinazione di alta velocità e alta risoluzione.

MEMS / NEMS
Sensors
Microfluidics and lab-on-a-chip
Nanotechnology
Materials science
Graphene and other 2-dimensional materials
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Video: loading and exposing a sample

Developing and viewing a sample

Video: developing and viewing a sample

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