Profilometri FP per campioni di grandi dimensioni

Da Toho Technology

I profilometri a contatto della serie FP di Toho Technology vengono impiegati per la caratterizzazione metrologica di superfici di campioni di grandi dimensioni sia in ambito di produzione e controllo qualità, sia in ambito di ricerca e sviluppo.

Features
Ripetibilità: 10 Å (profilometri serie FP-A); 15 Å (profilometri serie FP-X)
Ripetibilità di posizionamento X e Y: ±2 μm
Lunghezza di scansione: da 30 mm a 90 mm
Range verticale: 0 – 130 μm
Stylus force: 0.5 mg – 15 mg

Al giorno d’oggi il mercato propone una grande varietà di profilometri di vario tipo. Tuttavia, quando le dimensioni dei campioni sono fuori standard e superano i 400 mm di diametro, i sistemi della serie FP di Toho Technology rappresentano l’unica soluzione disponibile.

I profilometri Toho sono sviluppati a partire dal collaudato design KLA-Tencor e combinano la tecnologia brevettata “Micro Head and Stylus” con uno stage di movimentazione su larga area. L’accurato sistema di controllo della forza garantisce misure affidabili con eccellente risoluzione e precisione verticale.

I sistemi della serie FP consentono analisi automatizzate di altezze di gradini, rugosità superficiali, waviness, ricostruzioni 2D e 3D della topografia superficiale, e possono essere dotati di accessori per la misura dello stress e della resistività (4-point probe).

Spessori di film sottili

La misura accurate del profilo permette la determinazione dello spessore di film sottili e ultra sottili con ripetibilità dell’ordine di 1 nm.

Spessori di film spessi

L’ampio range verticale (fino a 130 μm ) permette di misurare lo spessore, oltre che di film sottili, anche di film spessi e molto spessi.

Caratterizzazione di rugosità di superficie
Curvatura di superficie
Misure di stress 2D

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