Phenom XL – der neue euzentrische Probencontainer

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Abb.1: Phenom XL

Mit dem euzentrischen Probencon­tainer bietet der Hersteller Phenom-World ein völlig neues Konzept zur Bewegung von Proben im REM an. Die neue Stage mit vier zusätzlichen, motorisierten Achsen ist in einem speziellen, aktiven Phenom XL-Probencontainer integriert. Aufwändige Montagen, Verkabelungen, Justagen oder Veränderungen sind am Phenom XL nicht erforderlich („plug and move“).

Abb. 2: Phenom XL – Euzentrische Stage mit 4 motorisierten Achsen
Abb. 2: Phenom XL – euzentrische Stage mit vier motorisierten Achsen

Denkbar einfach können die Anwender entweder mit dem Standard-Proben­container oder der euzentrischen Sta­ge arbeiten. Über die auf der Rück­seite des Probencontainers platzier­ten Kontakte wird die Stage an­ge­­­steu­ert. Das Phenom XL erkennt beim Einschleusen, welcher Pro­ben­container genutzt wird.

Bisher waren In-situ-Bewegungen von Proben im REM ein riskan­tes Unter­fangen, da immer die Ge­fahr des Ori­en­tierungsverlusts, einer Detek­tor­­kol­lision und der Beschä­di­gung der Probe bestand. Die Be­dien­oberfläche für die euzentrische Stage setzt hier neue Maßstäbe in Ergonomie und Sicherheit. Die Soft­ware limitiert die Bewegung der Probe in Abhängigkeit von den Pro­bendimensionen und verhindert damit effektiv potentielle Kollisionen. Außerdem wird dem An­wender permanent die tatsächliche Position (Höhe, Neigung, Rotation, Euzentrik) in 3D angezeigt. Somit ist eine optimale Orientierung auf der Probe während der In-situ-Bewegung stets gewährleistet.

Phenom XL Tilt&Rotation-Bedienoberfläche mit 3D-Visualisierung
Abb. 3: Phenom XL Tilt&Rotation-Bedienoberfläche mit 3D-Visualisierung

Das integrierte Digitalmikroskop des Phenom XL nimmt die Probenober­fläche direkt nach dem Einschleusen der Probe automatisch auf. In der 3D-Visualisierung wird diese Auf­nahme zusammen mit der euzentrischen Kippachse auf den Proben­teller projiziert. Das macht eine schnelle exakte Justage der Probe denk­bar einfach.

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