Sputter Coater und REM/TEM-Kohlebeschichter

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Sputter Coating ist die Standard-Präparationsmethode für nicht oder schlecht leitende Proben für die REM.

Unser neuer Lieferant Quorum Technologies bietet sowohl kostengünstige Geräte mit Drehschieberpumpe zum Sputtern von nicht oxidierenden Metallen als auch turbogepumpte Versionen für oxidierende und nicht oxidierende Metalle.

Ebenso haben wir Modelle mit extra großer Kammer für bis zu 200-mm-Wafer im Programm. Alle Sputter Coater können für die Kohlebeschichtung ausgerüstet werden.

Speziell für Dünnschichtanwendungen gibt es ein System mit zwei Magnetron-Köpfen zum sequenziellen Sputtern von zwei Targetmaterialien.

Alle Geräte der Q150- bzw. Q300-Serien sind programmierbar und arbeiten mit einem vollautomatischen Beschichtungsablauf für reproduzierbare Schichten. Die Eingabe der Beschichtungsparameter und Anzeige des Beschichtungsablaufs erfolgen über einen Touchscreen.

Mehrere Anwender können ihre eigenen Rezepte mit allen Parametern abspeichern. Durch die Vergabe von Zugriffsrechten sind bestimmte Para­meter vor Löschen und Verän­derung durch Anwender geschützt.

Da das Vakuums für den Sputterprozess vorgegeben ist, entfällt die Einstellung der Ar­gon­prozessgasmenge mit einem Nadel­ventil. Je nach eingestellter Gas­menge (Vakuum) wird der Sput­ter­strom automatisch auf die gewünsch­te Höhe (mA) nachgeregelt.

Dadurch kann man bei hoher Proben­topo­gra­phie auch diffus und mit geringem Sput­­terstrom arbeiten.

Quorum Technologies gibt 3 Jahre Ga­rantie auf alle Geräte.


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