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Spektroskopische In-situ-Ellipsometrie von Woollam

M-2000 an UHV-Prozesskammer angebaut
M-2000 an UHV-Prozesskammer angebaut
M-2000 mit QCM-D-Flüssigzelle
M-2000 mit QCM-D-Flüssigzelle

Geht es um spektroskopische Ellip­someter und In-situ-Ellipsometrie ist J. A. Woollam Co. seit vielen Jah­ren der führende Anbieter.

Aus gutem Grund bieten deshalb nahezu alle Anlagenhersteller integrier­te Woollam-Ellipsometer zur Echt­­zeit­überwachung und -steuerung von Wachstumsprozessen (an MBE-,
ALD-, Sputter-, CVD-, roll-to-roll-, Band­deposition u.v.m). Das bedeutet aber nicht, dass die Ellipsometer nur als Paket mit der Anlage gekauft werden können. Auch eine spätere Nach­rüstung ist in den meisten Fällen möglich. Es werden lediglich Ports (einmal für die Einstrahl- und einmal für die Detektionseinheit) mit entsprechen­den Flanschen unter typischen Ein­fallswinkeln (ca. 60° bis 75°) benötigt. Unsere In-situ-Pakete verfügen über UHV-Fenster und entsprechende An­­bauelemente, so dass das Vakuum für die Messung nicht gebrochen werden muss.

Ellipsometrie
Schichtdicke bestimmt durch In-situ-SE während Sputterdeposition. Bitte beachten Sie die Änderung der Wachstumsrate zum Zeitpunkt, an dem die Sputterspannung verdoppelt wurde
Ellipsometrie
SE- und QCM-D-Messung von CTAB-Adsorption und Desorption in Wasser

Die schnellen CCD-basierenden M-2000- und RC2-Ellipsometer sind ideal für In-situ-Anwendungen, da sie das gesamte Spektrum innerhalb von Se­­kundenbruchteilen oder we­nigen Se­­­kunden simultan aufnehmen, womit der Wachstumsprozess in Echt­zeit verfolgt werden kann. Durch direkte Kom­munikation zwischen der Com­plete­EASE-Software und dem Steuer­programm der Anlage lässt sich auch das Schichtwachstum steuern, d.h. der Shutter wird z.B. rechtzeitig bei Erreichen der Zieldicke geschlossen.

Zu den In-situ-Anwendungen zählt auch die Messung der Adsorp­tions­kinetik von biologischen und selbstor­ganisierenden Filmen in Flüssig­zel­len. Hierbei wird der Ex-situ-Aufbau des Ellipsometers verwendet und eine entsprechende Flüssig­zelle auf dem Probentisch platziert; die Messung erfolgt durch die Zell­fenster. Verfügbar sind heizbare Flüssigzellen, elektrochemische Zellen oder Kombinationszellen für QCM-D und Ellipsometrie. Durch die extrem hohe Messempfindlichkeit der Ellipsometrie, insbesondere der M-2000- bzw. RC2-Ellipsometer, lassen sich Adsorptions- und Desorptions­prozesse im sub-Monolagenbereich problemlos verfolgen.

Details zu den oben angesprochenen, und zu weiteren Anwendungen finden Sie in unserer neuen Broschüre „In-Situ Ellipsomtry“.


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